独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

超純水製造装置『OSK 97IT RO-DI Ｓシーリズ 』

JIS K0557 A3グレード相当の 純水（DI水）を製造する超純水…

全自動電子制御で複雑な設定は不要。 比抵抗値18.25MΩ.cm、導電率0.055μs/cm、有機物含有率<1 CFU/mL の超純水を精製できます。 LEDディスプレイに「水精製」、「洗浄」、「満水」、「水不足」など装置の状態をリアルタイムで表示。 万一障害が発生した場合はバックライトの色が変化して警告表示。 内蔵RO膜自動洗浄プログラム（７日間に一回自動洗浄）、起動時セルフテスト、水不...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

超純水製造装置『OSK 97IT RO-DI Dシーリズ』

JIS K0557 A3グレード相当の 純水（DI水）を製造する超純水…

全自動電子制御で複雑な設定は不要。 比抵抗値18.25MΩ.cm、導電率0.055μs/cm、有機物含有率<1 CFU/mL の超純水を精製できます。 LEDディスプレイに「水精製」、「洗浄」、「満水」、「水不足」など装置の状態をリアルタイムで表示。 万一障害が発生した場合はバックライトの色が変化して警告表示。 内蔵RO膜自動洗浄プログラム（７日間に一回自動洗浄）、起動時セルフテスト、水不...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

超純水製造装置『OSK 97IT RO-DI Ｓシーリズ』

JIS K0557 A3グレード相当の 純水（DI水）を製造する超純水…

全自動電子制御で複雑な設定は不要。 比抵抗値18.25MΩ.cm、導電率0.055μs/cm、有機物含有率<1 CFU/mL の超純水を精製できます。 LEDディスプレイに「水精製」、「洗浄」、「満水」、「水不足」など装置の状態をリアルタイムで表示。 万一障害が発生した場合はバックライトの色が変化して警告表示。 内蔵RO膜自動洗浄プログラム（７日間に一回自動洗浄）、起動時セルフテスト、水不...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社