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複数台数のRF電源出力位相を一定制御します
1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ(フィードフォワード制御)、クローズドループ(フィードバック制御)に選択して制御することが可能です。 ・オープンループ(フィードフォワード制御) 位相をRF電源側で測定しコントロールするものです。 一般的な位相シフターは、この方式を取っています。 ・クローズドループ(フィード...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
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