次世代 高周波電源システムメーカー
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。
事業内容【営業品目】
●プラズマ発生用高周波電源
・プラズマ発生用マッチングボックス
・プラズマ発生用マッチングコントローラ
・大気圧プラズマ発生用電源
・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器
・VDC/VPP表示ユニット
・VDC/VPPコントローラユニット
・位相シフター
・分配器
・RFカットフィルター
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