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（例：300MHz/500MHz/915MHz）
地上デジタル放送や携帯電話などに使用されておりますが、プラズマ用途では 未知の領域で、大注目の周波数です。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例 NR1N91…
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（例：4MHZ/13.56MHZ/27.12MHZ）
13.56MHzは、産業、科学、医療の目的に使われるべく、確保された周波数帯です。 現在最も使用されている周波数帯域で、Suica等も13.56MHzが使われています。 ※上記以外でも様々な…
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例：300/380/400/800(KHZ) 1/2(MHZ)
一例 NL5N400K-ＸＸ 出力周波数 400KHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10% 3Φ…
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LF帯高周波電源（例：100kHz/150kHz/250kHz ）
一例 NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01％ 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安…
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周波数を可変させてマッチング調整を行う高周波電源です
特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～…
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高速整合を可能とした自動整合器です
型式 NM1A-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 …
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1台で、2～4周波/広帯域の整合が可能な自動整合器です
型式 NM1A13-54M-XX 周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 54.24MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動…
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DC電源とRF電源の重畳に対応タイプの自動整合器です
型式 NM3AD-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 3KW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷…
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超小型高周波電源に対応した自動整合器です
周波数 13.56MHz～27.12MHzの任意の周波数 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D155×H110mm
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小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行っております
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数 13.56MHz～27.12MHz 周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力 5W～10…
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手動及び自動（リモート）に対応しております。
仕様 NXE-18 入出力接続コネクタ HN-R 最大使用電力 1kV 真空リレー 最大 30A(連続)／15kVdc×2 個使用 耐圧試験 DC1000V メガーテスト実施 ステータス接点…
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複数台数のRF電源出力位相を一定制御します
1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ（フィードフォワード制御）、クローズドループ（フィードバック制御）に選択して制御することが可…
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数値設定によりパルス信号をＴＴＬレベルにて出力する装置です
【仕様】 ※NRFの高周波電源は、パルス機能を内蔵することも可能です。 周波数設定精度 AC85～264V 50／60Hz １φ 消費電力 20VA パルス立上り、立下り時間 100n…
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複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500…
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幅広い周波数の出力が可能 企業、大学等の研究機関で広くご使用頂いております
※周波数及び出力の組合せに関しましては、別途御相談下さい。 例) 広帯域電源 10MHz～100MHｚ 250Ｗ 60MHz～180MHz 300W 20MHｚ～70MHｚ 500Ｗ 1…
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1.ローコスト 2.省電力 3.コンパクト設計
独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし…
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高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます
【13.56MHｚ 1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプ…
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高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】
NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプ…
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自動整合器 デジタルマッチャー
ＬＦ〜ＵＨＦ帯に至るまで幅広いラインナップと広帯域、パルス印加、重畳などの 一味違った付加価値製品を基にユーザーの声に応えてきたＲＦテクノロジーズ社が 取り扱う『デジタルマッチャー』のご案内です。…
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≪プラズマ用高周波電源≫ニーズに合ったRF電源にカスタマイズ可
軽量・コンパクト！1台から開発製造も可能！
空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力 NR03N-01：300W NR05N…
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