株式会社ノダRFテクノロジーズ 超小型高周波電源
- 最終更新日：2015-07-25 13:08:44.0
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小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行っております
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版)
周波数 13.56MHz～27.12MHz
周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数
定格出力 5W～100W
入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力
冷却方式 強制冷却
外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm
基本情報超小型高周波電源
出力 5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版)
周波数 13.56MHz～27.12MHz
周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数
定格出力 5W～100W
入力 AC100V 1Φ もしくはDC入力
冷却方式 強制冷却
外形寸法 参考外形 W140×D180×H110mm
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置メーカー等 |
取扱企業超小型高周波電源
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【営業品目】 ●プラズマ発生用高周波電源 ・プラズマ発生用マッチングボックス ・プラズマ発生用マッチングコントローラ ・大気圧プラズマ発生用電源 ・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器 ・VDC/VPP表示ユニット ・VDC/VPPコントローラユニット ・位相シフター ・分配器 ・ＲＦカットフィルター
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