超高真空エバポレーター UEシリーズ

コンパクトな多元蒸着源

超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。 <特長> ・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源 ・多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニソク