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歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置
・接触痕等)を高感度・高速に検出 ■裏面全面検査(EE=1mm) ■画像処理とマスクによる候補欠陥抽出 ■広いダイナミックレンジと高い処理能力 ■共焦点顕微鏡による自動欠陥レビューと3D計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
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