Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

検査装置『プローブカードアナライザ』

シンプルで使いやすい操作画面！簡単に検査データ・画像処理手順を作成可能

す。 針個別にコンタクト測定を行うため、基板内で他の針とショートされた 針も正しく測定可能。 またソフトウェアによる回転・オフセット補正機能により、ワークセット時に 基準合わせなどの調整が不要で、取り付け後すぐに検査を開始できます。 【特長】 ■計測チャネル数は最大500 ■検査対象エリアは150mm角 ■複数DUT大型タイプの基板にも対応 ■シンプルで使いやすい操作...

メーカー・取り扱い企業： 九州エレクトロン株式会社