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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック/ULVA…
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト~ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル~ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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省エネ・低騒音!大気圧~到達圧力まで全圧力域で運転可能です
『プレミアム パッケージポンプ』は、省エネ、低騒音で IoT対応システムを搭載した新型真空ポンプです。 大気圧~到達圧力まで全圧力域で運転可能です。 タッチパネルに「運転稼動管理」や「圧力・負荷率グラフ」など 様々な情報を表示し、簡単操作で運転条件を変更できます。 【特長】 ■吸着輸送・真空成型・工場集中真空源 ■省エネ・低騒音 ■IoT対応システム ■簡単タッチパネ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アンレット
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