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真空貼合の瞬間を撮影した動画です。 実際に真空下で貼り合わせている様…
・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。 ・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更...
メーカー・取り扱い企業: 常陽工学株式会社
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