高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

【特長】 ○最大100mmのロングレンジ走査 →圧電素子を用いた小型高精度のSPPAアクチュエータを駆動源として搭載し、15mm、35mmのストロークを標準で揃えています。最大100mmまで対応します。 →通常の観察やマッピング測定におい...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社