EBSD 主要な解析手法

EBSDにより材料の結晶構造や結晶方位の評価が可能です。

EBSDとは、後方散乱電子回折（Electron BackScatter Diffraction:EBSD）のことで、走査型電子顕微鏡を用いて、材料のミクロな結晶組織を観察する方法です。結晶性試料に電子線を照射すると、電子は非弾性散乱し、結晶格子面で回折され、菊池パターンと言う回折図形を持った反射電子として放出されます。この...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ