株式会社大同分析リサーチ EBSD 主要な解析手法

EBSDにより材料の結晶構造や結晶方位の評価が可能です。

弊社では、調査目的に応じて、適切な手法によるEBSD解析が可能です。

基本情報EBSD 主要な解析手法

EBSDとは、後方散乱電子回折(Electron BackScatter Diffraction:EBSD)のことで、走査型電子顕微鏡を用いて、材料のミクロな結晶組織を観察する方法です。結晶性試料に電子線を照射すると、電子は非弾性散乱し、結晶格子面で回折され、菊池パターンと言う回折図形を持った反射電子として放出されます。この菊池パターンに方位の指数付けを行う事で、結晶方位を求めることが出来ます。IPF(Inverse Pole Figure) mapは、結晶方位を示すマップであり、圧延板材や磁石の各結晶粒の配向状態の確認等に適用されます。KAM(Kernel Average Misorientation) mapは、局所的な方位差を示す解析手法であり、圧延等の塑性変形に起因する歪み量の確認等に適用されます。Phase mapは、菊池パターンから相を判別し、相毎に色付けたマップであり、マルテンサイト中の残留オーステナイトの判別等に適用されます。PF(Pole Figure)は、極点図(試料座標系基準で特定の結晶方位がどの方位を向いているか、ステレオ投影を用いて円で示した図)です。






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用途/実績例 材料の結晶構造や結晶方位の評価

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株式会社大同分析リサーチ

【事業内容】 ◆無機分析 (鉄鋼、非鉄金属、耐火物、セラミックス等) ◆有機分析(樹脂、ゴム、油脂等);高分子化合物の特定、解析、成分分析 ◆物理測定;極表層の表面分析、構造解析*走査型電子顕微鏡、EPMA、X線回折、オージェ電子分光分析装置を装備 ◆材料評価(金属、セラミックス、複合材等の機械特性、高温特性、疲労特性を評価) 1)欠陥調査→ X線透過試験 2)腐食試験→残留応力、各種耐食性試験、熱分析、非破壊検査 3)一般的な室温・高温条件での機械試験・熱処理 4)高温材料特性(熱膨脹・連続冷却変態・高温ヤング率・クリープ疲労試験)、熱特性試験(示差熱分析) 5)磁気特性(電気抵抗・透磁率・B‐H特性試験) 6)粉体試料試験(粒度・密度・気孔率測定) ◆EVモーターの分解調査;部品の取り出しから材料分析まで ◆技術開発調査用の実験試料作成;鉄鋼、Ti合金、超合金、次世代金属材料の溶製・分析試験・金属物性試験 ◆環境分析;土壌、産業廃棄物、水質分析・粉塵測定、作業環境測定

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