超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』

高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に…

『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

外観自動検査機　IMS-3000

洗浄後基板の異物検査やガラス基板の内部欠陥検査、透明電極パターンの測長…

多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の 微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。 最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、 独自な高速/高精度検査機を提案します。 この外観検査機はミクロからマクロまでの検査ユニットを搭載して各種検査への 対応と、複合機能で検査とレビューや加工、調整などのユニットを目的に合わせて ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

原子間力顕微鏡『ハンディAFM』

圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定

『ハンディAFM』は、SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用 することができる原子間力顕微鏡です。 サイズは、奥行き幅共に15cmの超小型。 走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、交換も瞬時に 行えます。 【特長】 ■プローブの交換が数秒で実施可能 ■カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能 ■オプションで小型の自動ステージやインライン全...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社