マクロ光学検査装置

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマク…

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マク...

メーカー・取り扱い企業： 東京エレクトロン デバイス 株式会社

【技術資料】紫外線領域に対応した『冷却カメラ』

2段ペルチェの冷却で微弱光も検出。特長・活用分野例などをまとめた解説資…

能です。 紫外光による除菌装置や細かい傷の検査など、可視光では見えないものまで撮影できます。 【主な製品ラインアップ】 ◎「BS-74UV」 　48万画素の裏面照射型で16μm角画素の超高感度モデル ◎「CS-77UV」 　130万画素の裏面照射型で9.76μm角画素の高感度モデル ◎「CS-66-UV」 　400万画素で最大90%以上の高い量子効率 ◎「CS-76UV」 ...

メーカー・取り扱い企業： ビットラン株式会社

高感度・背面照射型sCMOSカメラ　Dhyana95 V2

低価格ながら、背面照射型センサーを搭載し、最大95%の高量子効率、11…

【95%量子効率、EMCCDより高SNR】 背面照射型センサーを備え、紫外、可視および近赤外の広い波長範囲に感度を持ち、最大95%@560nmのピーク量子効率を実現しています。EMCCDカメラと同等のSNR性能を有しています。 【正確なキャリブレーションによるバックグランド較正】 Dhyana95 V2は、定量分析アプリケーションためのバックグランド較正が可能です。 DSNU/PRNU...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社

背面照射型sCMOSカメラ　Dhyana 400BSI

最大95%の高量子効率の背面照射型センサーを搭載した、高解像度sCMO…

【ピクセル補正、DSNU/PRNUキャリブレーションにより正確な定量分析】 Dhyana 400BSIでは、DSNU (dark signal nonuniformity) とPRNU (photo response non-uniformity)で較正されます。校正後、DSNU値は0.3e–から0.2e–に減少し、PRNU値は1.6%から0.3%に減少します。この高度な機能により、定量分析アプ...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社