組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ダブルホースダイヤフラムポンプ『フェルバポンプ』

高濃度スラリーを高圧・大流量圧送！独自のマルチセーフ機構で安全運転

により、一方が破損しても移送流体を汚すことありません。 ⇒従来のホースポンプやダイヤフラムポンプの欠点を克服しました！ 更に検知器がホースの破損を直ちに検知。 また、独自のサウンドセンサーが逆止弁の摩耗を検知します。 これらの【マルチセーフ機構】で安定的で継続的な移送を実現します。 ドイツ フェルバ社による100年以上の実績により、高い信頼性を誇ります。 超臨界・亜臨界による各種...

メーカー・取り扱い企業： ラサ商事株式会社 東京、大阪、名古屋、札幌、仙台、広島、福岡、シンガポール、上海駐在員事務所