組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

独自技術μ－ＭＩＭを活用した『精密ノズル』

自由曲面や逆止弁ほか特殊形状、極小品ＯＫ！機械加工が難しいノズルを量産

社の独自技術μ-MIMの技術を活用した『精密ノズル』は、 機械加工では難しい複雑な構造にも対応しています。 内部の流路が湾曲しているものやY分流や合流、極微小吐出口、 φ2.5mm以下の逆止弁構造を持つ製品も製作可能です。 また、量産にも対応しており、微細、極小、高機能なノズルを 安定的に提供します。 【対応形状】 ■拡大流れ　　　　■縮小流れ　　　■縮小拡大流れ ■...

メーカー・取り扱い企業： 太盛工業株式会社