組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

株式会社コスモテック『東日本事業部』事業紹介

宇宙事業で培った安全と信頼の心を技術サービスとして広く提供いたします

クリーンルーム（クラス10000）内の洗浄作業 ■高圧ガス設備の設計・製作・申請 ■角田宇宙センター 高空燃焼試験設備 　・高圧ガス定期自主検査、法定検査を実施 ■一般弁（玉形弁・仕切弁・逆止弁）のメンテナンス ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモテック 東日本事業部