薬液用　フッ素樹脂製 ベローズポンプ

薬液用　フッ素樹脂製 ベローズポンプ

薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社

スラリー液用　フッ素樹脂製 ベローズポンプ

金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。

CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)...【特長】 ◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ス...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社