ミリング装置用アンペア級イオン源

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に 適用できる大型イオン源です。 耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギー アンペア級イオンビームを発生。 ご要望に合わせオーダーメイドいたします。 【特長】 ■荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化 ■耐熱/低スパッタ率電極材料を採用 ■低エネルギーアンペア級イオンビームを発生 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

ECRラインビームイオン源『ELBS-150』

ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺…

『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動。 磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整などに応用できます。 【特長】 ■独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ■新開発の大型同軸導入端子(7/16型)に...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社