大電流DC放電型ラインビームイオン源『LBS-120HC』

大型基板対応可能！完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整

『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社