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大型基板対応可能!完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整
『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 ...
メーカー・取り扱い企業: ノベリオンシステムズ株式会社
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