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PRIoT用自立電源や省エネ用自立電源!未使用廃熱を効率よく電気エネルギー…
当資料では、独自開発の廃熱発電技術による自立電源についてご紹介しております。 様々な低温排熱源(300℃程度以下)に対応した、極薄で湾曲自在な熱電発電モジュール『フレキーナ』を実用化! 『フレキーナ』を搭載した、IoT用や省エネ用自立電源システムの 開発事例など豊富に掲載。 その他、他技術との比較や用途事例なども掲載しており、導入検討の際に 参考にしやすい一冊となっております。ぜひ、ご一読くだ...
メーカー・取り扱い企業: TSP株式会社
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量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)
φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…
装置形態 平行平板型サイドスパッタリング装置 カソード:ロータリーマグトロンカソード3元 対応基板:φ410までの平板基板 カソード電源:DCおよびRF 付属機構:基板加熱機構、逆スパッタ、バイアススパッタ機構 オプション機構 同時スパッタ機構 CtoC化、インライン化...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
成膜系:φ3インチカソード 1元装備 :高周波電源 1源装備 :基板加熱機構標準装備 :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ 操作系:全手動 オプション機構 磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス 逆...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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