【特許取得】非接触衝撃波式クリーナー『ウェイビー』

PRブロワーレスでも非接触で数μオーダーの塵埃を除去可能！低コスト・省エネ…

【高機能素材Week 第12回 FILMTECH JAPANへ出展！】 14-15ブースにて、持込ワークのクリーニングデモ実施予定です。(詳細は下部にて) ー ウェイビーは、ブロワーレスの非接触衝撃波式フィルムクリーナーです。 独自機構のクリーナーヘッド部(特許取得)を有し、発生させた衝撃波をワークに随伴する空気境界層に叩き付けると同時に、 ブロワーレスでも基材近傍で30m/s 超の風速を生じ...

メーカー・取り扱い企業： 若水技研株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

コインスタック式ケース対応　非接触　KUMADE　Circle

ウエハー搬送・FPDパネル搬送のイノベーションサプライヤー

静電気帯及び剥離帯電の解消、搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減。...【特徴】 ○極薄ウェーハへのストレスフリー ○極薄ウェーハ搬送時のワレ・クラック解消 ○コインスタック式搬送ケースへの対応可能 ○ウェーハへのパーティクル転写の解消 ○ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能 ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハーモテック