【特許取得】非接触衝撃波式クリーナー『ウェイビー』

PRブロワーレスでも非接触で数μオーダーの塵埃を除去可能！低コスト・省エネ…

【高機能素材Week 第12回 FILMTECH JAPANへ出展！】 14-15ブースにて、持込ワークのクリーニングデモ実施予定です。(詳細は下部にて) ー ウェイビーは、ブロワーレスの非接触衝撃波式フィルムクリーナーです。 独自機構のクリーナーヘッド部(特許取得)を有し、発生させた衝撃波をワークに随伴する空気境界層に叩き付けると同時に、 ブロワーレスでも基材近傍で30m/s 超の風速を生じ...

メーカー・取り扱い企業： 若水技研株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

半導体業界のCMP工程および研削工程の制御

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの…

厚さを計測可能です。 【特長】 ■光学センサーで、一般的な接触式測定器より正確な結果を取得可能 ■直接フィードバックでウエハー厚の再現性も数μmから0.5μm未満へと改善 ■高速測定と非接触式受動プローブにより、サンプル上でプローブを 　移動させるだけでウエハーの領域全体で多くの厚さデータを取得可能 ■結果からウエハー厚のばらつきが明らかになり、研削工程中ばらつきに対処可能 ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…

当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA ■FL...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ウエハーステップハイトのインプロセス測定

「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…

高さや厚さを出力します。 【特長】 ■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、 　過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現 ■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定 ■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ガラス産業向けの品質検査と連続補正

生産工程でのバルク材料のさまざまな欠陥を可視化することが可能です

ガラス製品の光学特性を測定する専用機器では、表面およびバルク材料に ダメージがないようにするため、非接触式の測定技術が使用されます。 当社の「CHRomatic Vision Camera（CVC）」を品質検査に使用すれば、 ガラス計測に関する情報を即座に入手し、生産工程でのバルク材料の さ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

当資料は、CHRocodileシリーズをご紹介しています。 「CHRocodileの測定原理」をはじめ、「干渉センサー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社