FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【導入事例】二次元回転＋三次元回転ノズル

作業員による洗浄仕上がり差がなくなり、再現性の向上が実現した事例のご紹…

した事例 をご紹介いたします。 三次元回転ノズルを使用していましたが、洗浄軌跡が大きいため、 洗い残しが生じており、洗浄が不十分な箇所については、人手対応 せざるを得ず、タンク外から高圧洗浄機を用いて洗浄を行っていました。 二次元回転＋三次元回転一体型を導入後、三次元回転ノズルがタンク内 全面をカバーして、二次元回転ノズルが側面を重点的にカバー。 洗い残しがなくなり、人手作...

メーカー・取り扱い企業： スプレーイングシステムスジャパン合同会社