高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

FOUP洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

高圧断続スプレー「DP-Gun」

各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉…

使用する水の量が少なく水膜のできにくい 既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット 最大30Hzで駆動する洗浄ノズル 5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ コントロールユニットの組合せ 従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

キャリア（カセット）ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...キャリア・カセット等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...ボックス等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

FOSB洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種FOSBの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...FOSB等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）