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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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設計から製造まで一貫した自社技術で、難題に挑戦します!
な判断と分析を繰り返しながら、独創性と豊かな アイディアを盛り込んだプレゼンテーションを行なっております。 益々ハイテク化が進み複雑化するニューテクノロジーの分野で、 ソフトとハードの超高密度な次元での融合を目指し、ユーザー様のより良い パートナーとして、更なるメディアとフィールドを求め前進してまいります。 【事業内容】 ■パーツフィーダー(部品自動整列装置)の開発、設計、製...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ティー・エム・ピー
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