リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

粉末成形プレス『EXシリーズ』

大型自動車部品を対象とした粉末成形プレス！高精度・高密度・複雑形状品に…

『EXシリーズ』は、大型自動車部品の成形に必要な機能・性能を標準装備した 機械式プレスです。 3次元構造解析システムにより、高い剛性と省スペース化を両立しています。 また、操作性が高い高性能サーボフィーダを標準装備しました。 サーボフィーダによる好適な給粉により、生産性の向上に寄与します。 【特長】 ■優れた成形機能 ■段取り時間の短縮 ■簡単操作 ■充実したオプション装...

メーカー・取り扱い企業： 三菱マテリアルテクノ株式会社