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静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
ガラスウェハーを静電チャック! 優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能!…
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...
メーカー・取り扱い企業: アキレス株式会社 工業資材販売部
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PI、PENを使用した導電性耐熱保護テープ。MEMS、CMOS、IGB…
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...
メーカー・取り扱い企業: アキレス株式会社 工業資材販売部
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