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精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適
真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三和電機製作所
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アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・…
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホよ...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。...【主な特長】 ○オイルフリーTMP ○取り付け位置自由...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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高い耐圧性と長寿命の『成形ベローズ』、小さなスペースで高い伸縮性を発揮…
『成形ベローズ』 ◆マイクロエレクトロニクス及び半導体製造向け ・真空バルブ向けの高疲労限界メタルベローズ ・高い柔軟性を持つダイアフラム型ベローズ ・高い清浄度が要求される用途向けフレキシブルメタルホース ・光学用途向け精密ベローズ/ アクチュエータ ◆バルブシャフトベローズ ・高品質バルブに使用されるグランドパッキンを使用しないベローズシール ◆真空機器用メタルベローズ ・真...
メーカー・取り扱い企業: ウイツエンマンジャパン株式会社 本社
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メカニカルシールやドライガスシールなど様々な軸封での実績多数!
ARJ型は、三葉ロータを採用するとともに、高性能・低騒音・低振動をめざして、株式会社宇野澤組鐵工所の技術を結集したロータリブロワ(ルーツブロワ)です。 このシリーズは高度に標準化され低圧から高圧まで、少風量から大風量まで幅広くご使用いただけます。又、特殊ガス、低温流体、高温流体にも対応致します。 【特徴】 ○高い信頼性 ○特殊仕様に対応 ○最適な軸封構造の選択 ○特殊...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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