高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロータリー式超音波シールユニット　Soniseal 40UL

PRクリーンで安全な超音波シールの超音波ユニットをアンビルと同期して回転さ…

DUKANE-AURIZONのロータリー式超音波シールユニットは、超音波ユニットをアンビルと同期しながら回転させることにより、よりスムーズな送りが実現され、最大150m/分の加工速度と、安定した品質を得ることが出来ます。 従来のヒートシールと比較し、高温になる個所がないため安全性が高く、装置の電源をオンにしてすぐに生産開始ができますので、生産性も向上します。 ユニットは縦置きでも横置きでも使用...

メーカー・取り扱い企業： デュケインジャパン株式会社

成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ

高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバ…

【特徴】 ○高効率アンプ採用 →電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー ○高速オートマッチング →高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施 ○RF電源にオートマッチング機能を内蔵 →本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能 →内蔵のコントローラでRF電源...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

成膜用DC電源 DPG-10/DPG-20

10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。【アルバック…

囲が選択可能 →800V仕様に加えて1000V仕様もラインアップ ○豊富なアークハンドリング →プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式 ○冷却水不要 →強制空冷方式のため冷却水が不要 ○高速アーク遮断回路を搭載可能 →標準でも低アークエネルギーを実現 →オプションで高速アーク遮断回路を搭載可能 ○自由な並列運転機能を搭載可能 →DPG-10、DPG-20：オプションの並列運転機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

成膜用EB電源HPS-Nシリーズ

回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です…

にフィードバック ○簡易な操作性 →操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上 ○スイープ波形バリエーション →操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能 ○高速アーク遮断機能 →高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成 ○低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション） →光学用途で発生する微小なアークを制御し、安定した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.