PBNヒータ＆静電チャック

1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術…

Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性を...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社