PBNヒータ＆静電チャックモメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン

1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体

Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、
電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG）
の先端技術を使用した複合体です。

高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、
高温での化学的気相蒸着から生み出されています。

高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。

【特長】
■超高温対応（1500℃）
■寸法安定性と電気的安定性
■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる
■急速昇降温に対応

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報PBNヒータ＆静電チャック

【利点】
■1500℃以上でも使用可能
■超高真空中でアウトガスが少ない
■多くの腐食性ガス・液体に対して不活性
■多くの溶融金属に浸食されない
■長寿命
■異方性結晶構造による優れた機械特性と耐熱衝撃性
■安定した温度再現性、および優れた均熱特性
■小さい熱容量による高速熱応答性
■ヒータ一体型の静電チャックも可能

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用途／実績例	【用途】 ■真空プロセス用ヒータ ■エピタキシャル/イオン注入プロセス用ヒータ ■ガラス加工用ヒータ（レンズ・基板など） ■強誘電体・超電導基板プロセス ■分析機器用ヒータ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。