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PRセラミックスの特長や材料から、設計上の注意ポイントまで一挙に解説
セラミックスは硬い、電気に強い、熱に強い、腐食に強い といった特長がありますが 加工によっては歪みや曲りが起こりやすいことも事実です。 当社は1881年から140年以上続く、セラミックスメーカーです。 お客様の仕様に基づいてさまざまなセラミックス部品を提供してきた経験から、 セラミックスの特長を生かすための「設計上の留意点」もまとめた解説資料を作成しました。 【掲載内容】 ■セラミックスの特長...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社友玉園セラミックス
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!…
【仕様】 ■ハード構成:ロードロック式 ロードロック室 エッチング室各1室構成 ※量産用 マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板:~φ8インチウェハ形状品(矩形基板対応可能) ■基板材質:Si、ガラス、化合物半導体基板(GaAS、サファイア)等 ■エッチング対象:各膜種 Al系(AlSi、AlSiCu)・Cr等 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
シリーズは基本的に4インチカソード、6インチカソード、8インチカソードを装備したバッチタイプ(標準各3元装備)。それぞれカソードの倍以上の面積を有効成膜範囲としています。 スパッタ方向(アップ、ダウン)も目的に合わせて選択可能でチャンバサイズに合わせて...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物…
8インチ対応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室2室装備。枚葉式ロードロック室1室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類(RIE室・ICP室・加熱・冷却室・追加ガス系)による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有機膜エッチング・エッチング/アッシング複合装置として多くの用途・プロセスに対応...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…
3~8インチウェハ対応の大気搬送型CtoCシステム。 平行平板型RIE装置を基本とし、電極切替によるマルチモードプラズマによりソフトモードプラズマ処理を実現 CF系、O2、Ar、H2などのガス系とプラ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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