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主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。 バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業： カドミ光学工業株式会社
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