株式会社エスイーエス研究所

■非接触エアサーボ測長器(商品名：エアスキャナ)の特徴■
1)エア膜を介しての非接触測定であり測定物に損傷を与えない
2)スケール分解能0.02μｍで繰り返し2σ±0.2μｍと高精度
3)環境性が高く高温多湿であっても測定可能
4)測定物が空気を通過しない個体であれば材質を問わない
5)測定範囲が10mmと大きく分解能が高い　(可動範囲は16mm)
6)測定エリア(ノズル径)はφ0.5mm〜ご希望のサイズに対応できます
□測定例□
　液晶ガラス・金属箔・透明フィルム・半導体ウエハ
　セラミックス・軟質金属・ディスク・膜厚形成体・ペースト膜・粘着物
　有機弾性体等の平坦度や厚み・高さの測定が可能
□エアスキャナを用いた応用例□
　自動焦点用のセンサ(色・材質に影響されない)
　加工装置用センサ(内圧がかかるため環境に強い)
　※供給エアの管理(除湿)は必要です

■精密エア位置決め装置(商品名：エアステッパ)の特徴■
1)全非接触での高速位置決めが可能(摩擦・摩耗が無い)
2)高速動作なのに熱が発生しないため
　工場内空調設備の節電ができ結果省エネになる
3)圧力制御でトルク調節ができる

エアサーボ技術による
■非接触精密エアサーボ測長器 (商品名：エアスキャナ)
■精密エア位置決め装置 (商品名：エアステッパ)の応用開発・製造・販売
一般企業への技術支援・試作研究開発受託