アリオス株式会社 MBE関連製品 RHEEDシステム

MBE装置及び部品類を開発・製造してきたノウハウをベースに電子銃・制御電源からスクリーンまで全て自社で開発・製造しています。

標準品以外でも豊富な経験とCADを駆使することによりお客様の要求仕様に応じて設計、製造いたします。現在までに標準品を初め、特殊仕様セル、各社MBE装置向けの代替など研究開発から大型生産装置用まで数多くの納入実績があります。

基本情報MBE関連製品 RHEEDシステム

【特徴】
○小型化設計により、軽量コンパクトです。
○フィラメント交換後の電子ビーム軸合わせは、ベローズ機構により簡単確実な調整が可能です。
○差動排気ポートを標準で装備しており、ガス導入時の運転も可能です。
○操作する全てのツマミ、メーター類をリモコンBOXに集約しており、スクリーンを観ながら操作が行えます。
○電源本体は、ラックマウント(H150JISサイズ)及び床設置が可能です。
○入力電圧100~240Vまで対応のオープン電源です。
○フィラメントに通電しないと加速電圧が印加できない設計となっており、ケーブルが外れた状態では高電圧がかかりません。
○可視光カット用にAl膜あるいはAu膜付きタイプスクリーンをご用意しております

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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カタログMBE関連製品 RHEEDシステム

取扱企業MBE関連製品 RHEEDシステム

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アリオス株式会社

真空計、分子線セル、プラズマ・ラジカル・イオン源 実験用装置、半導体製造装置の設計・製造・販売

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