ジャパンクリエイト株式会社 ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
- 最終更新日:2012-08-22 14:49:54.0
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カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。
機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。
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基本情報ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
【特徴】
○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置
○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能
○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します
【仕様】
○ウエハーサイズ:~φ300m/m
○HEPA又はULPA:フィルター内蔵
○ロボット:サーボモーター
○薬液槽:揺動、超音波洗浄、メガソニック
○リンス槽:バブリング、QDR、比抵抗計設置
○ULD:lonaizar(オプション)
○乾燥:S/D. IPA V/D. 引き上げ
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取扱企業ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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