ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ JFE 商事エレクトロニクス

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効果のある数値パラメータを簡単に取得出来ます。

ウエハーセンス（サイバーオプティクス（CyberOptic）社）のはプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置のレベル出しに使う水準測定ウエハー、振動用測定ウエハー、装置内部のパーティクルをモニタリングするパーティクル測定ウエハーの5種類があります。付属のソフトウェアを使って、センサーとの交信をワイヤレスに行う事が可能となり、リアルタイムなLOGデータの取得とフィードバックが出来ます。ウエハセンスを使う事で装置パラメータの標準化や比較、解析にも役立ちます。

基本情報ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

◆オートレベルシステム2（ALS2）
ウエハーと同じように搬送され、XとY方向の傾斜測定を行います。

◆オートティーチングシステム(ATS)
ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。

◆オートギャップ測定システム（AGS）
ワイヤレスのスペーシング測定システムが、リアルタイムに測定値を表示。成膜の均一性と歩留まり向上を実現します。

◆オート振動システム(AVS)
プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定する事ができます。

◆エアボーンパーティクルカウンタ（APS）
プロセス装置内で搬送され、装置内部の気中パーティクルをモニタリングする事ができます。

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	WaferSense（ウエハーセンス）
用途／実績例	半導体プロセス装置内のウエハの位置決め、レベル出し、スペーシング調整、加速度＆振動、パーティクルの測定に