ジャパンクリエイト株式会社 枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

基本情報枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

【特徴】
○枚葉式のスプレー洗浄装置
○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON
→試料台は回転を開始
→同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング
→2流体ノズルより高圧純水をスプレー
○メガソニックによる仕上げ洗浄実行
○スピン乾燥実行

【仕様】
○外形寸法：W900×D645×H500
○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り
○蓋：透明 PVC　手動開閉
○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け
○流し：PVC
○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作
○メガソニック：950kHz　60W
○スピンモーター：ACサーボモーター　400W
○回転数
→メガソニック時：0～500rpm
→スプレー洗浄時：0～500rpm
→2流体ノズル洗浄時：0～500rpm
→スピン乾燥時：MAX 3000rpm
○純水流量：1～4L/分　0,2Mpa
○N2流量：150～200L/分　0,2Mpa
○排気：VP-75A　5m³/分
○電源：φ3　AC-200V　20A

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カタログ枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

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取扱企業枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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