株式会社ジェーイーエル 光学式アライナ SAL46C6シリーズ
- 最終更新日:2014-10-31 14:29:13.0
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シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
150mm~300mm対応光学式アライナ SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。
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基本情報光学式アライナ SAL46C6シリーズ
【仕様】
○被搬送物 SEMI規格 150~300mmシリコンウエハ
○位置決め時間 センタリング:3sec
○位置決め制度
→センタリング:±0.1mm以内
→オリフラ(ノッチ)ロケート:±0.1°以内
○センサ 可視光半導体レーザーセンサ
○サイズ切替 コマンド制御による切替または通信
○クリーン度 0.1μm/cf クラス1(駆動部排気時)
○駆動方式
→2相ステッピングモータ4軸使用
→モータドライバ・コントローラ内臓
○電源/真空 DC24V±10% 3A/-53kPa以上
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