株式会社ハイテック・システムズ プラズマ式/サーマル式両用ALD装置
- 最終更新日:2022-12-28 17:48:31.0
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プラズマ、サーマル両方のALD成膜が可能です。
ハイテックシステムズは、ALD(Atomic Layer Deposition)装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の販売代理店です。
Veeco/CNT社は米国Veeco社のALD(Atomic Layer Deposition)事業部門で 先端のALD(原子層堆積)技術開発を行い、世界の研究機関、大学、企業にて最も使われている開発用、量産試作用、ALD装置のメーカーです。量産用ALD装置、大面積基板ALD装置についても市場にて実績があり、ご要望に対応しております。
基本情報プラズマ式/サーマル式両用ALD装置
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします!
●高性能
プラズマ、サーマル両方のALD成膜が可能
ALD成膜専用に開発されたチャンバー、また排気機構を改善
チャンバーターボポンプ、ALD Vapor Trapを標準にて装備
●使いやすい
ロードロック機構、オゾン発生器、グローブボックス接続など多くのオプション
LavVIEWを使用した操作システム、
操作画面を改良、分かりやすい操作システム
標準的レシピの提供
成膜の種類が拡大
本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Fiji G2 |
用途/実績例 | ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。 |
カタログプラズマ式/サーマル式両用ALD装置
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