オジープ処理ーOGEP-V3ーオジックテクノロジーズ

腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨

オジープ処理(OGEP-V3)とはアルミ及びステンレスチャンバー（オーステナイト系・マルテンサイト系）に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。
オジープ処理はアルミニウムに行う「オジープ・Al」とステンレスに行う「オジープ・SUS」があります。
キーワード：電解研磨・硫黄・サルファ・光沢・レベリング・耐食性・バリ除去・焼け除去・精密洗浄・平滑性

●詳しくはお問い合わせください。
E-mail: ogic@ogic.ne.jp
電話番号：096-352-4450

関連リンク - http://www.ogic.ne.jp/high.html#02

基本情報オジープ処理ーOGEP-V3ー

特長：
＊放出ガスにサルファ(硫黄分)を含まないから腐食しない
＊放出ガスが少ない為、真空に引く時の時間が短くてすむ
＊表面に薄い酸化皮膜を形成する為、素材のままよりも耐食性が向上する
＊皮膜厚さを自由にコントロール可能
＊コーナー部分まで均一な研磨が可能
＊光沢・レベリングが良好
　(素材の加工状態にもよるが、光沢値100～1000以上
　の光沢表面を得ることができます。)

「オジープ・Al」の特長：
・常温の研磨でも鏡面研磨が可能
・処理液にハロゲン,Crを含まない（環境に優しい）

「オジープ・SUS」の特長：
・SUS304において耐食性が期待できる(下図)
・cold材･マルテンサイト系SUSの研磨も可能
・NOxガス等が発生しない（環境に優しい）

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用途／実績例	【活用事例】腐食性ガス（硫黄ガス）低減＊問題点真空チャンバーなどに使用しているステンレスやアルミニウムをそのまま使用すると放出ガスが多い為に高真空条件で使用できない。電解研磨をして放出ガス量を減らせたが、電解研磨により腐食性ガスの発生が起きてしまう。＊上記解決案オジープ処理をご提案。オジープ処理は、独自開発の処理液により腐食性ガス量と放出ガス量を大幅に低減することが可能です。これにより真空時における装置内の腐食が起こりません。