株式会社昭和真空 イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。
同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。
内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。
イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。

【特徴】
○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能
○抵抗加熱蒸発源は切替電極(2式)を搭載している
○イオンプレーティング機構が付属している
○治具台車を2式標準装備している
○冷凍機の搭載によりH2Oに対する排気スピードが向上している

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基本情報イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

【仕様】
○到達圧力 10-4Pa 台
○排気速度 大気圧より6.7×10-3Pa 迄20 分以内
○内部治具 自公転式 6軸(Φ440mm×H1650mm/軸:ワーク搭載エリア)
           8軸(Φ360mm×H1650mm/軸:ワーク搭載エリア)
○自公転数 6 軸:自転11~33rpm/公転1~3rpm
      8 軸:自転13~37rpm/公転1~3rpm
○真空槽 Φ1600mm×H2300mm(SS400 製)
○フットプリント W4700mm×D7000mm×H3100mm

【所要諸元】
○所要電力 本機:Φ3 200V 約12KVA、抵抗蒸発源:Φ1 200V 40KVA
○所要水量 0.2MPa 以上(差圧)、4.8 ㎥/h、20~25℃
 ※冷却水入口の最大圧0.4MPa 以下、水質は市水相当
○所要圧空 0.5MPa 以上、接続口径 8A(Rp3/4)、70NL/min
○ガス圧力 0.03MPa(設定圧0.02MPa)、接続口径 SWL1/4

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納期 お問い合わせください
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用途/実績例 【用途】
○各種装飾膜
○不連続膜
○電磁波防止膜

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カタログイオンプレーティング装置 「SIP-1600」

取扱企業イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

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株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの  総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、  ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金(溶解、熱処理、燒結、  脱ガス)装置、光学薄膜用モニター(多色式、単色式)、  IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他

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