マニュアルスピンコータートービ

基本情報マニュアルスピンコーター

◆シンプルデザイン、コストパフォーマンス
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＜仕　様＞
試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ
カップ径…Φ300mm
回転範囲…100-5000rpm
回転精度…±1rpm
スピンドルモータ…AC サーボモーター
回転表示…デジタル
回転数設定…液晶タッチパネル
薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式）
レシピ設定…10プログラム ×50 パターン
オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク
ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー

価格情報	-
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型番・ブランド名	MSC-300T
用途／実績例	-

カタログマニュアルスピンコーター

ウェハ再生装置

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取扱企業マニュアルスピンコーター

株式会社トービ

[半導体・液晶用試験研究開発、生産関連機器] 前工程(フォトリソ関連) 各種洗浄機（ウェット、ドライ）、スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置各種真空装置、プローバー、膜厚測定用ドリラー ●後工程関連テープ貼付装置、抵抗率測定器、他 [医療用機器] ●CT、超音波診断装置、麻酔機器、心電計、肺機能検査機器、顕微鏡、他の輸出 ●ELASTRAT血管ファントム（CT、MRI、超音波診断装置）及びコンピューターコントロールフローシステムの輸入及び国内販売