4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。
処理は1ワークずつ行います。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
基本情報ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1106
【主仕様】
1.ストローク 140mm
2.対象サイズ 4inch
3.対象材質 ウエハー
4.ディップ速度 0.1mm/secから10mm/sec
5.塗布液循環部 無
6.塗布液温度管理 無
7.フィルターメッシュ 無
8.乾燥部 無
9.乾燥温度 無
10.ヘパユニット 無
11.装置サイズ(概寸) W:450×D:670×H:685mm
| 価格情報 | お気軽にお問い合せください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合せください |
| 型番・ブランド名 | NIC-1106 |
| 用途／実績例 | 4inchウエハー基板への離型剤塗布 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| NIC-1109G | |
| NIC-0809 | |
| NIC-1103 |
カタログナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1106
取扱企業ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1106
ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1106へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
