丸型ポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。
全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。
洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
基本情報丸型ポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。
全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。
洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・ |
取扱企業丸型ポーラスチャック
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