有限会社ソーラーリサーチ研究所 超薄反り板状体非接触チャック
- 最終更新日：2020-09-05 09:23:55.0
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超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
◎特長
１．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送
２．ウエハに損傷を与えない
３．汚れを付けない
◎ 適応
１．反りのあるウエハ
２．GaSaウエハ
３．極薄ウエハ
４．表面処理ウエハ
基本情報超薄反り板状体非接触チャック
ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | ~ 1週間 |
| 型番・ブランド名 | 反りウエハ非接触搬送装置 |
| 用途／実績例 | ＧａＡｓウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。 「反りのウエハ非接触搬送装置」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 |
取扱企業超薄反り板状体非接触チャック
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非接触搬送装置「フロートチャック」（特許自社開発）を用いたウエハ、液晶ガラス、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
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