クイックチェンジフィルター日本インテグリス

親水化処理が不要なPTFEメンブレンフィルター

耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製のフィルター。
膜の渇きによる問題を解消する独自のNon-dewettingテクノロジー。
親水化処理不要。

関連リンク - http://www.entegris.com/nihon/ProductGroup_catLMC_…

基本情報クイックチェンジフィルター

【主な仕様】
除粒子径：　0.03, 0.05, 0.1 µm
材質：　フィルター Non-dewetting PTFE
　　　　　サポート PFA
　　　　　コア、スリーブ PFA
　　　　　ハウジング PFA
封入水：超純水（オートクレーブ滅菌済）
最高使用温度： 180 ºC

価格情報	お問い合せ下さい
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	QuickChange®
用途／実績例	半導体ウェーハのRCA洗浄

お問い合わせ

取扱企業クイックチェンジフィルター

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。